VSL Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● RS485 ● EtherCAT ● abs. 1200 bis 1e-4 mbar ● rel. -1060 … +340 mbar

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Der digitale Vakuumtransmitter VSL mit EtherCAT-Schnittstelle wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

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Der digitale Vakuumtransmitter VSL mit EtherCAT-Schnittstelle wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

Überblick VSL Vakuumtransmitter mit EtherCAT für Loadlocks:

  • EtherCAT-Schnittstelle
  • Integriertes Multi-Sensor-System: Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit.
  • Auf dem Punkt: Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion
  • Präzise: Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität
  • Schnell: Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms
  • Stabile Messwerte: Durch optimierte Temperaturkompensation
  • Gasartunabhängig: Messungen über 20 mbar gasartunabhängig

Überblick Smartline Vakuumtransmitter:

  • Große Auswahl an Schnittstellen: Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder Profinet. Zudem ermöglicht der Bluetooth-Adapter SLKBT kabellose Kommunikation
  • Austauschbare Sensorköpfe: Einfach austauschbare Ersatz-Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten
  • Einfacher Abgleich: Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle
  • LEDs: Für Statusanzeige und Schaltpunkte
  • Skalierbare Ausgangs-Kennlinie: Das 0-10 V Ausgangssignal kann entsprechend der gewünschten Kennlinie skaliert werden.
    Somit ist ein Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig einfach und ohne Programmieraufwand möglich.
    Soll das Kabel erhalten bleiben, aber der Transmitter getauscht werden, stehen Adapter (z. B. FCC68) zur Verfügung.
  • UHV-geeignet: Durch metallgedichtete Edelstahlmesszelle UHV-geeignet (He-Leckrate <5e-10 mbar l / s)
  • Robust: Widerstandsfähiges, EMV-gerechtes Metallgehäuse, Schutzart bis IP54
  • Controller: Erweiterung durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14 möglich
  • VacuGraphTM Windows Software: Zur Visualisierung, Analyse und Speicherung von Messdaten

Sie haben Fragen zum Vakuumtransmitter VSL mit Piezo/Pirani-Kombisensor und EtherCAT-Schnittstelle für Loadlock-Anwendungen? Wir beraten Sie gerne.

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