• Großer Messbereich durch Kombi- nationssensor Pirani/ Bayard Alpert
• Bayard Alpert mit durchbrenn- sicherem, yttriertem Iridium-Doppelfilament
• Langzeitversuche bestätigten hervor- ragende Lebensdauer: bis zu 100.000 Schockbelüftungszyklen

Prozesse wie das Hartlöten, Sintern oder Glühen von Metallen erfordern eine sauerstofffreie Atmosphäre. Sie werden im Vakuum, teilweise unter Einsatz von Inertgas, durchgeführt.

Aufgabenstellung

Das Vakuum muss während des gesamten Prozesses konstant gut sein und ständig überwacht werden, um beispielsweise eine Oxidation der Produkte zu verhindern. Bei unserem Kunden war der Druck in einem röhrenartigen Hochvakuum-Ofen sowohl in der Nähe des Inertgaseinlasses als auch am Abpumpstutzen mit hoher Genauigkeit zu messen.

Lösung

Zum Einsatz kamen zwei VSH mit Kombisensor Pirani / Bayard-Alpert. Sie bieten den für diese Anwendung nötigen, großen Messbereich und erfassen den Druck am Einlass- und Abpumpstutzen des Ofens mit der erforderlichen Genauigkeit. Die Vernetzung mit der Anlagensteuerung über die RS485-Schnittstelle und die Visualisierung der Messkurven in einem Diagramm erlauben jederzeit eine exakte Kontrolle des Druckgradienten im Ofen.