Vorteile im Überblick

• Großer Messbereich durch Kombinationssensor Pirani/ Bayard Alpert
• Bayard Alpert mit durchbrenn- sicherem, yttriertem Iridium-Doppelfilament
• Langzeitversuche bestätigten hervor- ragende Lebensdauer: bis zu 100.000 Schockbelüftungszyklen

Prozesse wie das Hartlöten, Sintern oder Glühen von Metallen erfordern eine sauerstofffreie Atmosphäre. Sie werden im Vakuum, teilweise unter Einsatz von Inertgas, durchgeführt.

Aufgabenstellung

Während des gesamten Prozesses muss das Vakuum konstant bleiben und es bedarf daher einer ständigen Überwachung. Nur so kann beispielsweise eine Oxidation der Produkte verhindert werden. Bei unserem Kunden musste der Druck in einem röhrenartigen Hochvakuum-Ofen sowohl in der Nähe des Inertgaseinlasses als auch am Abpumpstutzen mit hoher Genauigkeit erfasst werden.

Lösung

Zum Einsatz kamen zwei VSH mit Kombisensor Pirani / Bayard-Alpert. Sie bieten den für diese Anwendung erforderlichen großen Messbereich und erfassen den Druck am Einlass- und Abpumpstutzen des Ofens mit hoher Genauigkeit. Die Vernetzung mit der Anlagensteuerung über die RS485-Schnittstelle und die Visualisierung der Messkurven in einem Diagramm erlauben jederzeit eine exakte Kontrolle des Druckgradienten im Ofen.

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