VSL Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● abs. 1200 bis 1e-4 mbar ● rel. -1060 … +340 mbar ● digital

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Der digitale Vakuumtransmitter VSL wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

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Der digitale Vakuumtransmitter VSL wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

Überblick Smartline Vakuumtransmitter:

  • Große Auswahl an Schnittstellen: Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder PROFINET. Zudem ermöglicht der Bluetooth-Adapter SLKBT kabellose Kommunikation
  • Industrie 4.0: Alle Smartline-Transmitter bieten eine Reihe von Parametern zur vorbeugenden Instandhaltung. PROFINET-Transmitter können mit OPC UA Servern kommunizieren und unterstützen MRP
  • Austauschbare Sensorköpfe: Einfach austauschbare Ersatz-Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten
  • Optionales Display: Großes LCD-Display (ausgen. EtherCAT, PROFINET)
  • Einfacher Abgleich: Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle
  • LEDs: Für Statusanzeige und Schaltpunkte
  • Skalierbare Ausgangs-Kennlinie: Das 0-10 V Ausgangssignal kann entsprechend der gewünschten Kennlinie skaliert werden.
    Somit ist ein Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig einfach und ohne Programmieraufwand möglich.
    Soll das Kabel erhalten bleiben, aber der Transmitter getauscht werden, stehen Adapter (z. B. FCC68) zur Verfügung.
  • UHV-geeignet: Durch metallgedichtete Edelstahlmesszelle UHV-geeignet (He-Leckrate <5e-10 mbar l / s)
  • Relaisschaltpunkte: Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte (ausgen. EtherCAT, PROFINET)
  • Robust: Widerstandsfähiges, EMV-gerechtes Metallgehäuse, Schutzart bis IP54
  • Controller: Erweiterung durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14 möglich
  • VacuGraphTM Software: Zur Visualisierung, Analyse und Speicherung von Messdaten

Überblick VSL Vakuumtransmitter für Loadlocks:

  • Integriertes Multi-Sensor-System: Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit.
  • Auf dem Punkt: Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion
  • Präzise: Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität
  • Schnell: Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms
  • Stabile Messwerte: Durch optimierte Temperaturkompensation
  • Gasartunabhängig: Messungen über 20 mbar gasartunabhängig
  • Relaisschaltpunkte: Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte

Sie haben Fragen zum Vakuumtransmitter VSL mit Piezo/Pirani-Kombisensor für Loadlock-Anwendungen? Wir beraten Sie gerne.

Achtung: Wenn der Smartline-Transmitter ohne Anlagensteuerung verwendet wird, ist ein SLN4 Steckernetzteil erforderlich.

→ Zu allen Vakuumtransmittern der Smartline | → Zum Zubehör für alle Smartline Vakuumtransmitter

 

 

 

Gewicht 1,1 kg
Größe 25 × 16 × 9 cm
Messprinzip

,

Gasartabhängigkeit

gasartabhängig, gasartunabhängig (Piezo)

Messbereich mbar

,

Messbereich Torr

900 – 1e-4 Torr, Relativdruck: -795 … +255 Torr

Max. Überlast

4 bar abs.

Genauigkeit

1200 – 40 mbar: 0,3 % f.s. | 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r., Relativdruck: 0,25% der Mess-Spanne

Wiederholbarkeit

1200 – 40 mbar: 0,1% f.s. | 40 – 1e-2 mbar: 2 % f.r.

Materialien mit Vakuumkontakt

Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid

Reaktionszeit

40 ms

Betriebstemperatur

+5…+60 °C

Lagertemperatur

-40…+65 °C

Ausheiztemperatur

Spannungsversorgung

20 – 30 VDC

Leistungsaufnahme

Max. 2,5 W, zus. 0,8 W f. EtherCAT/ Relais/ LCD, zus. 1.6 W f. Profinet

Ausgangssignal SL

0 – 10 VDC, min. 10 kΩ, Messbereich 1,5 – 8,58 VDC, log. ausgen.EtherCAT, Profinet

Serielle Schnittstelle

, ,

Schaltausgänge

2x Relais, potentialfrei, 50 VAC / 2 A bzw. 30 VDC / 2 A, max. 60 VA, ausgen. EtherCAT und Profinet

Elektrischer Anschluss

,

Vakuumanschluss

DN 16 ISO-KF (VSL53), DN 16 CF-F (VSL54)

Schutzart

Zertifizierungen

CSA, UL (cCSAus)

Abmessungen

99 x 69 x 48 mm (VSL53)

Gewicht

195 g (VSL53)

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Wie können Parameter, wie z. B. Schaltpunkte oder Gasartkorrekturfaktoren, eingegeben werden?

Die Smartline-Vakuumtransmitter werden mit Hilfe ihrer RS485-Schnittstelle programmiert. Sie reagieren z. B. auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle und Befehle zum Setzen von Gasart-Korrekturfaktoren. Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des Transmitters ist ebenfalls via RS485 möglich.

Ist das Messsignal im Grobvakuum gasartunabhängig?

Ja, im Druckbereich oberhalb 15 mbar.

Wie kann der Sensor vor Verschmutzung geschützt werden?

Eine Blende schützt die Thyracont-Sensoren weitgehend vor Kondensat und Verschmutzung. Ist mit größeren Verschmutzungen zur rechnen, empfiehlt sich zusätzlich der Einsatz eines Verlängerungsrohres oder Kniestücks, einer Kühlfalle oder eines Dichtrings mit Sinterfilter. Wir empfehlen den Transmitter dauerhaft eingeschaltet zu lassen, da eine heißes Pirani-Filament weniger verschmutzungsanfällig ist.

Kann man den Pirani-Sensor reinigen?

Je nach Art und Grad der Verschmutzung kann ein Reinigen des Sensors mit Isopropanol sinnvoll sein. Dazu füllen Sie die Messzelle vollständig mit dem Alkohol und lassen diesen einige Minuten einwirken. Nach dem Entfernen der Flüssigkeit muss die Messzelle vollständig austrocknen. Bitte beachten Sie aber, dass zum Beispiel Ölablagerungen meist auf dem Filament festbacken und durch Lösemittel nur schwer oder gar nicht zu beseitigen sind.

Muss man die Geräte in einer bestimmten Einbaulage montieren?

Grundsätzlich können die Geräte in jeder Lage montiert werden. Die genausten Messergebnisse erzielen Sie, wenn der Flansch des Gerätes senkrecht ist, da die Geräte in dieser Lage kalibriert wurden. Ein Montieren des Sensors von unten ist nicht empfehlenswert, da sich in der Messzelle Kondensat und Schmutz ansammeln kann.

Wie oft sollte der Vakuumtransmitter nachjustiert werden?

Dies hängt von der jeweiligen Anwendung ab. Insbesondere Ablagerungen und Verschmutzung im Sensor, aber auch der Einsatz unter extremen Temperaturbedingungen, können ein Nachjustieren notwendig machen. Zur Qualitätssicherung empfehlen wir die Geräte alle ein bis zwei Jahre zur Kalibrierung einzuschicken. Wir bieten hier wahlweise ein Testzertifikat oder eine Werkskalibrierung an.

Wie wechselt man die Sensorköpfe der Transmitter aus?

Die austauschbaren, vorjustierten Sensorköpfe der Smartline-Transmitter können einfach und schnell durch den Anwender selbst getauscht werden, um eine durchweg hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten. Dazu werden die Befestigungsschrauben des Sensorkopfes gelöst, die Sensoreinheit ausgetauscht und die Schrauben wieder befestigt. Nach einer Warmlaufzeit von ca. 15 Minuten drücken Sie den Adjust-Knopf. Die Sensorik und die Elektronik werden nun automatisch aufeinander abgeglichen und der Transmitter ist betriebsbereit.

Wann setzt man eine Heiß-, wann eine Kaltkathode ein?

Heißkathoden werden hauptsächlich für präzise Messungen eingesetzt, bei denen eine hohe Genauigkeit (<15%) erforderlich ist. Für den Einsatz im UHV-Bereich bis 5e-10 mbar empfehlen wir ebenfalls unsere Heißkathode. Kaltkathoden sind in vielen Anwendungen robuster und deshalb vor allem für Anwendungen interessant, bei denen der Sensor unempfindlicher gegen Staub, Ölnebel oder Verschmutzung sein muss. Die Kaltkathodenmesszelle kann teilweise zerlegt und vorsichtig mit Scotch Brite gereinigt werden. Das VSM hat im Vergleich zum VSH eine niedrigere, jedoch für eine Kaltkathode sehr gute Genauigkeit von <25%. Um eine hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten, kann bei beiden Transmittern der Sensorkopf bei Bedarf einfach ausgetauscht werden.

Kann man den Sensorkopf des VSH reinigen?

Heißkathoden sind nicht zur Reinigung geeignet.

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