• Überwachung Vakuum
• Prozesssteuerung
• Kontrolle und Regelung Gaseinlass

Die Bte Bedampfungstechnik GmbH ist spezialisiert auf die Beschichtung optischer Komponenten für technische Anwendungen. Mit diesen optischen Beschichtungen lassen sich Eigenschaften wie Reflexion oder Transmission gezielt beeinflussen – sowohl für bestimmte Wellenlängenbereiche als auch unter verschiedenen Einfallswinkeln. Dazu werden Metalle (Gold, Silber, Aluminium) bzw. sogenannte Dielektrika (TiO2, SiO2) im Hochvakuum verdampft.

Anforderungen

Um den korrekten Ablauf des Bedampfungsprozesses sicherzustellen, ist es wichtig, dass sowohl der Druck der Vorvakuumkammer als auch der Druck der Hochvakuumkammer kontrolliert und geregelt wird. Nur wenn sich der Druck in einem definierten Bereich befindet, kann eine gute Qualität der bedampften Produkte sichergestellt werden.

Passende Produkte

VSH88D: Der digitale Vakuumtransmitter mit einem Kombisensor aus Pirani/Heißkathode misst den gesamten Bereich von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Durch Einschalten der Heißkathode bei niedrigem Druck wird eine verlängerte Lebensdauer erreicht. Der Transmitter verfügt über einstellbare, separate Gasartkorrekturfaktoren für Pirani und Heißkathode und weist exzellente Genauigkeit und Reproduzierbarkeit auf.

VSP63MV: Im Pirani-Vakuumtransmitter der Analogline steckt ein neuartiges, patentiertes Messprinzip. Das bewährte Thyracont-Impuls-Pirani besitzt einen größeren Messbereich bei verbesserter Auflösung. Beim weiterentwickelten Pirani kommt eine optimierte Temperaturkompensation zum Einsatz. Genauigkeit und Stabilität konnten nochmals gesteigert werden.

Beide Transmitter überwachen und steuern die Funktion der Vor- und Hochvakuumpumpstände und kontrollieren und regeln den Gaseinlass, falls dieser für den Prozess notwendig ist.