Vorteile im Überblick

• Großer Messbereich durch Kombinationssensor Pirani/ Bayard Alpert
• Bayard Alpert mit durchbrennsicherem, yttriertem Iridium-Doppelfilament
• Langzeitversuche bestätigten hervorragende Lebensdauer: bis zu 100.000 Schockbelüftungszyklen

Die Bte Bedampfungstechnik GmbH beschichtet Glas, Metall und Kunststoff mit optischen Funktionsschichten. Dazu werden Metalle (Gold, Silber, Aluminium) bzw. sogenannte Dielektrika (TiO2, SiO2) im Hochvakuum verdampft.

Aufgabe

Um den Ablauf des Bedampfungsprozesses sicherzustellen ist es wichtig, dass sowohl der Druck der Vorvakuumkammer als auch der Druck der Hochvakuumkammer kontrolliert und geregelt wird. Nur wenn sich der Druck in einem definierten Bereich befindet, kann eine gute Qualität der bedampften Produkte sichergestellt werden.

Lösung

Zur Kontrolle des Vakuums werden ein VSH88D (Pirani/Heißkathode, digital) und ein VSP63MV (Pirani, analog) Messumformer verwendet. Diese überwachen und steuern die Funktion der Vor- und Hochvakuumpumpstände, kontrollieren und regeln den Gaseinlass, falls dieser für einen Prozess notwendig ist.

Eine der Kernkompetenzen der Bte Bedampfungstechnik GmbH ist das Beschichten von optischen Komponenten für technische Anwendungen. Bte vertraut seit vielen Jahren auf Thyracont-Vakuummesstechnik.

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