3-in-1 für Loadlocks: Zuwachs in der Smartline-Familie digitaler Vakuumtransmitter

Thyracont Vacuum Instruments ergänzt die bewährte Produktfamilie Smartline um einen weiteren digitalen Vakuumtransmitter. Speziell für die Vakuummessung in Loadlocks entwickelt, soll er für optimale Bedingungen beim Öffnen und Schleusen sorgen, Zykluszeiten im Prozess verringern und Verunreinigungen vorbeugen. Der neue Vakuum-Transmitter VSL misst Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1260 … +940 mbar.  Der metallgedichtete Messkopf bedient sich dazu moderner Multisensor-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezos mit einem Piranisensor. Anwender profitieren damit von einer zuverlässigen, platz- und kostensparenden Lösung, die eigens für die Herausforderungen von Loadlock-Anwendungen konzipiert und einfach in Anlagensteuerungen einzubinden ist.

Das Gerät besitzt zwei piezo-resistive Membransensoren, die die Kammer/Schleuse während des Abpump- und Belüftungsvorgangs überwachen. Durch ihre raschen Reaktionszeiten von nur 40 ms, hervorragende Genauigkeit (0,3% vom Skalenendwert) und gasartunabhängige Messung bei Atmosphärendruck sind sie ideal für Loadlock-Anwendungen geeignet. Um die Heliumdichtigkeit des metallisch dicht verschweißten Sensoraufbaus zu gewährleisten, wird nicht wie marktüblich ein elastomer-gedichteter Relativdrucksensor verbaut, sondern das Differenzdrucksignal aus dem Absolutdruck in der Kammer und der Umgebung errechnet.

Ein Piranisensor mit Messbereich bis 1e-4 mbar sorgt für bestmögliche Prozessreinheit, indem er den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer steuert.
Exzellente Langzeitstabilität, hervorragende Reproduzierbarkeit und die individuelle Temperaturkompensation jedes Sensors sorgen für zusätzliche Prozesssicherheit.

Durch die Verfügbarkeit verschiedener Schnittstellen (RS485, EtherCAT und Profinet) kann das VSL speziell für die Bedürfnisse der jeweiligen Applikation und vom Anwender selbst konfiguriert werden. Zwei unabhängige Relais-Schaltpunkte lassen sich einer beliebigen Sensorfunktion zuweisen, z.B. dem Erreichen des Druckausgleichs zwischen Schleuse und Umgebung. Durch die optional integrierte, große LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung, welche als Option verfügbar ist, kann der Druck auch direkt am Messplatz abgelesen werden.

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