• Prozessüberwachung
• Überwachung Enddruck

Die optische Beschichtung von Spiegeln für Laser-Resonatoren ist ein entscheidender Prozess, um die Leistung und Effizienz eines Lasers zu optimieren. Die Spiegelbeschichtungen dienen dazu, die Reflexionseigenschaften der Spiegel zu kontrollieren und die spezifischen Anforderungen des Lasers zu erfüllen.

Bei der optischen Beschichtung von Spiegeln für Laser-Resonatoren liegt der Prozessdruck typischerweise oberhalb von 2 x 10^-3 mbar.

Anforderungen

Geeignete Vakuummessgeräte müssen sowohl den Prozessdruck als auch den Enddruck von 10^-6 mbar in der Vakuumkammer kontinuierlich überwachen. Unser Kunde verwendete dazu ursprünglich eine Kombination aus Pirani und Kaltkathode, wobei letztere auch den Prozess überwachte. Der ständige Betrieb oberhalb 10^-3 mbar führte dabei allerdings rasch zu vorzeitigem Verschleiß.

Passende Produkte

VSM: Im digitalen Vakuumtransmitter VSM misst eine Kombination aus Pirani und Kaltkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Dabei schaltet das Thyracont-Pirani mit erweitertem Messbereich den Kaltkathodensensor erst bei sehr niedrigem Druck ein. Zudem lässt sich der Übergang zwischen Pirani und Kaltkathode individuell konfigurieren. So überwacht das Pirani den gesamten Beschichtungsprozess, während die Kaltkathode erst bei Erreichen des Enddrucks aktiviert wird. Dadurch wird die Kaltkathode geschont und die Prozessverfügbarkeit wesentlich verbessert.