Derartige Kontamination kann die Messergebnisse und damit den Vakuumprozess stark beeinträchtigen oder den Sensor gar unbrauchbar machen. Die Vakuummessgeräte müssen somit nach sehr kurzer Zeit nachjustiert, gereinigt oder ersetzt werden.
Anwender können zum Schutz der Messtechnik einige Vorkehrungen treffen, um die Lebensdauer der Sensoren auch in besonders anspruchsvollen Vakuumanwendungen zu verlängern.
Wichtig ist dafür primär der Einsatz robuster Messröhren. Das Sortiment von Thyracont Vacuum Instruments umfasst auch extra widerstandsfähige Sensoren, die sogar aggressiven Medien standhalten.
Auch Metallschutzblenden über den Pirani-Sensoren schirmen das Filament zusätzlich von äußeren Einflüssen ab.
Außerdem ist der Prozessaufbau so zu konstruieren, dass kein direkter Sichtkontakt zwischen Sensor und Verschmutzungsquelle entsteht. Zu diesem Zweck kann zum Beispiel ein Absperrventil installiert werden, das die Vakuummessgeräte der Anlage nur dann zuschaltet, wenn diese tatsächlich benötigt werden. Zwei potenzialfreie Relais-Schaltpunkte, die die Smartline-Transmitter mit RS485-Schnittstelle standardmäßig besitzen, vereinfachen dies.
Als Spezialist für Vakuummesstechnik bietet Thyracont auch Zubehör, das die Sensoren zusätzlich schützen kann. Im Grob- und Feinvakuum helfen verschiedene Bauteile, die Ablagerungen, welche z. B. durch ölgeschmierte Vakuumpumpen verursacht werden, abzufangen. Hierfür haben sich Winkelstücke und Rohrspiralen bewährt, da Dämpfe an deren kühler Metalloberfläche kondensieren und die Messtechnik so geschützt wird.
Auch Dichtringe mit einem feinen Drahtfilter können eingesetzt werden. Um zu verhindern, dass ein Druckgradient entsteht, der Einfluss auf die Messwerte nimmt, sollten sie regelmäßig auf Verschmutzung überprüft und gegebenenfalls getauscht werden. Aus eigener Entwicklung stammen speziell konstruierte Metall-Baffles, die Verschmutzung oder Beschichtung des Sensors weitgehend vorbeugen. Sie verhindern, dass Ölmoleküle in den Vakuumbehälter gelangen, da Dämpfe an deren kühler Metalloberfläche kondensieren und die Messtechnik so geschützt wird.
Sie sind ideal für den Einsatz im Fein- und Hochvakuum und so besonders für Anwendungen wie Sputterprozesse/PVD geeignet.
Dichtringe und Baffles sind als kostengünstige Lösung besonders beliebt, da sie auf Platzbedarf und Einbauposition keinen Einfluss haben.
Durch korrekten Einsatz der Vakuummesstechnik und entsprechende Schutzmaßnahmen erhöht sich die Lebensdauer der Sensoren deutlich, wodurch sich Wartungsaufwand und Ausfallzeiten minimieren.