Loadlocks in der Halbleiterfertigung arbeiten oft mit mehreren Drucksensoren – und damit mit Integrationsaufwand, Kontaminationsrisiko und unnötiger Komplexität.
Der VSL Vakuumtransmitter ersetzt sie durch ein einziges Gerät und deckt den gesamten Messbereich von 1200 bis 10⁻⁴ mbar ab.
Weniger Komponenten. Weniger Risiko. Mehr Prozesssicherheit.
In der Halbleiterfertigung zählt jedes Partikel – und jede Sekunde im Prozess. Loadlocks sind dabei ein kritischer Engpass: Sie ermöglichen den kontrollierten Übergang zwischen Atmosphäre und Vakuumumgebung, ohne die Prozesskammer zu kontaminieren oder Zykluszeiten unnötig zu verlängern.
Die Realität in vielen Anlagen:
Mehrere Sensoren für unterschiedliche Druckbereiche, hoher Integrationsaufwand und ein komplexes Zusammenspiel im Prozess.
Das geht einfacher.
Der VSL Vakuumtransmitter vereint die komplette Druckmessung im Loadlock in einem einzigen Gerät.
Durch die Kombination aus zwei piezoresistiven Membransensoren und einem Piranisensor deckt der VSL einen Messbereich von 1200 … 10⁻⁴ mbar (absolut) und -1060 … +340 mbar (relativ zur Umgebung) ab.
Während Abpump- und Belüftungsphasen liefern die Piezos schnelle (40 ms), gasartunabhängige und präzise Messwerte (0,3% vom Skalenendwert). Im Niederdruckbereich sorgt der Piranisensor für stabile, reproduzierbare Übergabebedingungen zur Prozesskammer.
Weniger Komplexität, geringeres Kontaminationsrisiko
Der vollständig metallisch dichte Aufbau verzichtet auf einen elastomer-gedichteten Relativdrucksensor. Stattdessen wird der Differenzdruck aus Kammer- und Umgebungsdruck berechnet – für maximale Heliumdichtigkeit und eine zuverlässige Triggerung der Türöffnung beim Druckausgleich.
Die individuelle Temperaturkompensation jedes Sensors gewährleistet exzellente Langzeitstabilität und hohe Reproduzierbarkeit.
Das Ergebnis: Prozesssicherheit – ohne Kompromisse.
Schnell integriert, flexibel einsetzbar
Mit Schnittstellen wie RS485, EtherCAT und PROFINET lässt sich der VSL nahtlos in bestehende Anlagen integrieren. Zwei frei konfigurierbare Relais-Schaltpunkte lassen sich beliebigen Sensorfunktionen zuweisen, etwa dem Erreichen des Druckausgleichs zwischen Schleuse und Umgebung.
Eine optionale LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung ermöglicht zudem die direkte Druckablesung am Messplatz.
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