Innovative, intelligente Vakuummesstechnik ist unser Anspruch. Erfahren Sie mehr über neue Produkte, auf welchen Veranstaltungen Sie unsere Mitarbeiter finden und für welche Projekte wir uns engagieren.
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Loadlocks in der Halbleiterfertigung arbeiten oft mit mehreren Drucksensoren – und damit mit Integrationsaufwand, Kontaminationsrisiko und unnötiger Komplexität.Der VSL Vakuumtransmitter ersetzt sie durch ein einziges Gerät und deckt den gesamten Messbereich von 1200 bis 10⁻⁴ mbar ab. Weniger Komponenten. Weniger Risiko. Mehr Prozesssicherheit.
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Thyracont Vacuum Instruments ergänzt die bewährte Produktfamilie Smartline um einen weiteren digitalen Vakuumtransmitter. Speziell für die Vakuummessung in Loadlocks entwickelt, soll er für optimale Bedingungen beim Öffnen und Schleusen sorgen, Zykluszeiten im Prozess verringern und Verunreinigungen vorbeugen. Der neue Vakuum-Transmitter VSL misst Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar. ...
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