3-in-1 für Loadlocks: Zuwachs in der Smartline-Familie digitaler Vakuumtransmitter
Thyracont Vacuum Instruments ergänzt die bewährte Produktfamilie Smartline um einen weiteren digitalen Vakuumtransmitter. Speziell für die Vakuummessung in Loadlocks entwickelt, soll er für optimale Bedingungen beim Öffnen und Schleusen sorgen, Zykluszeiten im Prozess verringern und Verunreinigungen vorbeugen. Der neue Vakuum-Transmitter VSL misst Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar. ...
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