Innovative, intelligente Vakuummesstechnik ist unser Anspruch. Erfahren Sie mehr über neue Produkte, auf welchen Veranstaltungen Sie unsere Mitarbeiter finden und für welche Projekte wir uns engagieren.
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Loadlocks in der Halbleiterfertigung arbeiten oft mit mehreren Drucksensoren – und damit mit Integrationsaufwand, Kontaminationsrisiko und unnötiger Komplexität.Der VSL Vakuumtransmitter ersetzt sie durch ein einziges Gerät und deckt den gesamten Messbereich von 1200 bis 10⁻⁴ mbar ab. Weniger Komponenten. Weniger Risiko. Mehr Prozesssicherheit.
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