VSM7xPN Vakuum-Transmitter ● Profinet ● Pirani/Kaltkathode ● 1000 bis 5e-9 mbar

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Im digitalen Vakuumtransmitter VSM mit EtherCAT-Schnittstelle misst eine Kombination aus Pirani– und Kaltkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum.

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Technische Daten

Gewicht1.1 kg
Größe25 x 16 x 9 cm
Messprinzip

Gasartabhängigkeit

gasartabhängig

Messbereich mbar

Messbereich Torr

750 – 5e-9 Torr

Max. Überlast

10 bar abs., 16 bar abs. mit CERT31P

max. Überlast mit CERT31P

bis 16 bar abs.

Genauigkeit

1000 – 10 mbar: ca. 30 % f. r. | 10 – 2e-3 mbar: 10 % f. r. | 2e-3 – 1e-8 mbar: 25 % f. r.

Wiederholbarkeit

10 – 1e-2 mbar: ca. 2% f. r. | 1e-2 – 1e-8 mbar: ca. 7% f. r.

Materialien mit Vakuumkontakt

Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Molybdän, Al₂O₃ Keramik

Filamente/ Anoden

Molybdän

Anodenspannung

< 2,5 kV

Reaktionszeit

50 ms (Einschalten Kaltkathode < 2s)

Betriebstemperatur

+5…+60 °C

Lagertemperatur

-40…+65 °C

Ausheiztemperatur

Spannungsversorgung

20 – 30 VDC

Leistungsaufnahme

Max. 3 W, zus. 0,8 W f. EtherCAT/ Relais/LCD, zus. 1,8 W f. Profinet

Serielle Schnittstelle

Elektrischer Anschluss

Artikelnummer (Vakuumanschluss wählen):

, ,

Abmessungen

139 x 69 x 48 mm (VSM77)

Schutzart

Gewicht

555 g

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