VSL5xPN Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● RS485 ● Profinet ● abs. 1200 bis 1e-4 mbar ● rel. -1260 … +940 mbar

 839,00 859,00 zzgl. MwSt und Versandkosten

Das digitale Vakuummessgerät VSL (mit Profinet) wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Der metallgedichtete Vakuumtransmitter bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1260 … +940 mbar gemessen. Das Vakuummessgerät ist in KF- und CF-Varianten sowie mit verschiednenen digitalen Schnittstellen erhältlich.

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Technische Daten

Gewicht1.1 kg
Größe25 x 16 x 9 cm
Messprinzip

Messbereich mbar

,

Messbereich Torr

900 – 1e-4 Torr, Relativdruck: -945 … +705 Torr

Max. Überlast

4 bar abs.

Genauigkeit

1200 – 40 mbar: 0,3 % f.s. | 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r., Relativdruck: 0,4 % v. Skalenendwert

Wiederholbarkeit

1200 – 40 mbar: 0,1% f.s. | 40 – 1e-2 mbar: 2 % f.r.

Materialien mit Vakuumkontakt

Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid

Reaktionszeit

40 ms

Betriebstemperatur

+5…+50°C (Profinet)

Lagertemperatur

-40…+65 °C

Ausheiztemperatur

Spannungsversorgung

20 – 30 VDC

Leistungsaufnahme

Max. 2,5 W, zus. 0,8 W f. EtherCAT/ Relais/ LCD, zus. 1.6 W f. Profinet

Serielle Schnittstelle

Elektrischer Anschluss

Artikelnummer (Vakuumanschluss wählen):

,

Abmessungen

99 x 69 x 48 mm (VSL53)

Schutzart

Gewicht

195 g (VSL53)

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