VSL5xD Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● RS485 ● abs. 1200 bis 1e-4 mbar ● rel. -1060 … +340 mbar

 569,00 589,00 zzgl. MwSt und Versandkosten

Das digitale Vakuummessgerät VSL (mit Profinet) wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Der metallgedichtete Vakuumtransmitter bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen. Das Vakuummessgerät ist in KF- und CF-Varianten sowie mit verschiednenen digitalen Schnittstellen erhältlich.

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Technische Daten

Gewicht1.1 kg
Größe25 x 16 x 9 cm
Messprinzip

,

Gasartabhängigkeit

gasartabhängig, gasartunabhängig (Piezo)

Messbereich mbar

,

Messbereich Torr

900 – 1e-4 Torr, Relativdruck: -795 … +255 Torr

Max. Überlast

4 bar abs.

Genauigkeit

1200 – 40 mbar: 0,3 % f.s. | 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r., Relativdruck: 0,25% der Mess-Spanne

Wiederholbarkeit

1200 – 40 mbar: 0,1% f.s. | 40 – 1e-2 mbar: 2 % f.r.

Materialien mit Vakuumkontakt

Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid

Reaktionszeit

40 ms

Betriebstemperatur

+5…+60 °C

Lagertemperatur

-40…+65 °C

Ausheiztemperatur

Spannungsversorgung

20 – 30 VDC

Leistungsaufnahme

Max. 2,5 W, zus. 0,8 W f. EtherCAT/ Relais/ LCD, zus. 1.6 W f. Profinet

Ausgangssignal SL

0 – 10 VDC, min. 10 kΩ, Messbereich 1,5 – 8,58 VDC, log. ausgen.EtherCAT, Profinet

Serielle Schnittstelle

Schaltausgänge

2x Relais, potentialfrei, 50 VAC / 2 A, 30 VDC / 2 A, max. 60 VA, ausgen. EtherCAT und Profinet

Elektrischer Anschluss

Artikelnummer (Vakuumanschluss wählen):

,

Schutzart

Abmessungen

99 x 69 x 48 mm (VSL53)

Gewicht

195 g (VSL53)

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