VSL5xD Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● RS485 ● abs. 1200 bis 1e-4 mbar ● rel. -1060 … +340 mbar

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Das digitale Vakuummessgerät VSL (mit Profinet) wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Der metallgedichtete Vakuumtransmitter bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen. Das Vakuummessgerät ist in KF- und CF-Varianten sowie mit verschiednenen digitalen Schnittstellen erhältlich.

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Beschreibung

Das digitale Vakuummessgerät VSL wurde speziell für Loadlocks entwickelt.

Der metallgedichtete Vakuumtransmitter bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.
Das Vakuummessgerät ist in KF- und CF-Varianten sowie mit verschiednenen digitalen Schnittstellen erhältlich.

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Smartline® Vakuumtransmitter messen den gesamten Druckbereich von 1200 mbar bis 5e-10 mbar.

Intelligente Mikrocontroller übernehmen die automatische Steuerung der Sensorik und garantieren ein optimales Zusammenspiel zwischen Pirani und piezoresistiven Sensoren bei hoher Flexibilität.

Alle Smartline-Transmitter besitzen eine RS485-Schnittstelle und zusätzlich wahlweise einen 0-10 V Ausgang, eine EtherCAT-, oder Profinet-Schnittstelle.
Zudem ermöglicht der Bluetooth-Adapter SLKBT kabellose Kommunikation.

Das 0-10 V Ausgangssignal kann entsprechend der gewünschten Kennlinie skaliert werden.
Somit ist ein Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig einfach und ohne Programmieraufwand möglich.
Soll das Kabel erhalten bleiben, aber der Transmitter getauscht werden, stehen Adapter (z. B. FCC68) zur Verfügung.

Die Smartline Vakuumtransmitter können mit Hilfe des Adapters SLKUSB mit dem PC verbunden und konfiguriert werden.
Eine Änderung des Korrekturfaktors oder der Schaltpunkte sind so über die VacuGraph™ Software (Lite-Version kostenlos) ohne Programmierkenntnisse möglich.

Es existiert eine Vielzahl an nützlichen Zubehörteilen, um die volle Funktionalität dieser Vakuummessgeräte auszuschöpfen.
Die beliebtesten davon sind als sinnvoll zusammengestelltes Set SLZUB mit Preisvorteil erhältlich. In einem kompakten Schutzkoffer mit Schaumstoffeinlage, in dem auch das Vakuummessgerät selbst Platz findet, sind ein SLN4 Steckernetzteil, ein SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB sowie eine Lite-Version unserer VacuGraph Software enthalten.

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