VCL Vakuum-Transmitter für Loadlocks ● abs. 1200 bis 5e-4 mbar ● rel. -1060 … +340 mbar ● PtRh ● digital

€ 701,00 – € 1.044,00 zzgl. MwSt und Versandkosten

Der digitale Vakuumtransmitter VCL wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

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Artikelnummer: n. v. Kategorie: Smartline digitale Vakuumtransmitter Schlagwörter: -1060 … +340 mbar (rel.), 0-10V Ausgang, 1200 - 1e-4 mbar, Display, EtherCAT, für korrosive Medien, Kombinationssensoren, Piezo, Pirani, Profinet, RS485, Vakuumtransmitter

Der digitale Vakuumtransmitter VCL wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 5e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen.

Überblick Smartline Vakuumtransmitter:

Große Auswahl an Schnittstellen: Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder PROFINET. Zudem ermöglicht der Bluetooth-Adapter SLKBT kabellose Kommunikation
Industrie 4.0: Alle Smartline-Transmitter bieten eine Reihe von Parametern zur vorbeugenden Instandhaltung. PROFINET-Transmitter können mit OPC UA Servern kommunizieren und unterstützen MRP
Austauschbare Sensorköpfe: Einfach austauschbare Ersatz-Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten
Optionales Display: Großes LCD-Display (ausgen. EtherCAT, PROFINET)
Einfacher Abgleich: Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle
LEDs: Für Statusanzeige und Schaltpunkte
Skalierbare Ausgangs-Kennlinie: Das 0-10 V Ausgangssignal kann entsprechend der gewünschten Kennlinie skaliert werden.
Somit ist ein Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig einfach und ohne Programmieraufwand möglich.
Soll das Kabel erhalten bleiben, aber der Transmitter getauscht werden, stehen Adapter (z. B. FCC68) zur Verfügung.
UHV-geeignet: Durch metallgedichtete Edelstahlmesszelle UHV-geeignet (He-Leckrate <5e-10 mbar l / s)
Relaisschaltpunkte: Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte (ausgen. EtherCAT, PROFINET)
Robust: Widerstandsfähiges, EMV-gerechtes Metallgehäuse, Schutzart bis IP54
Controller: Erweiterung durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14 möglich
VacuGraph^TM Software: Zur Visualisierung, Analyse und Speicherung von Messdaten

Überblick VCL Vakuumtransmitter für Loadlocks:

Integriertes Multi-Sensor-System: Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit Platin-Rhodium-Filament für anspruchsvolle Applikationen mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit.
Auf dem Punkt: Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion
Präzise: Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität
Schnell: Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms
Stabile Messwerte: Durch optimierte Temperaturkompensation
Gasartunabhängig: Messungen über 20 mbar gasartunabhängig

Sie haben Fragen zum Vakuumtransmitter VCL mit Piezo/Pirani-Kombisensor für Loadlock-Anwendungen? Wir beraten Sie gerne.

Achtung: Wenn der Smartline-Transmitter ohne Anlagensteuerung verwendet wird, ist ein SLN4 Steckernetzteil erforderlich.

→ Zu allen Vakuumtransmittern der Smartline | → Zum Zubehör für alle Smartline Vakuumtransmitter

Gewicht	1,1 kg
Größe	25 × 16 × 9 cm
Messprinzip	Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani (Pirani, gasartabhängig)
Messbereich mbar	1200 – 5e-4 mbar, Relativdruck: -1060 … +340 mbar (abhängig von Umgebungsdruck)
Messbereich Torr	900 – 5e-4 Torr, Relativdruck: -795 … +255 Torr
Max. Überlast	4 bar abs.
Genauigkeit	Absolut: 1200 – 10 mbar: 0,3 % f. s., 10 – 1e-2 mbar: 10 % f. r., Relativ: 0,25 % der Mess-Spanne
Wiederholbarkeit	1200 – 10 mbar: 0,1 % f. s., 10 – 1e-2 mbar: 5 % f. r.
Materialien mit Vakuumkontakt	Edelstahl 1.4307, Platin/Rhodium, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid
Reaktionszeit	40 ms
Betriebstemperatur	+5…+60°C (Profinet +5…+50°C)
Lagertemperatur	-40…+65°C
Ausheiztemperatur	max. 125 °C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschaltet)
Spannungsversorgung	20 – 30 VDC
Leistungsaufnahme	Max. 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT / Relais /LCD, 1,6 W für Profinet
Ausgangssignal	0-10 V
Ausgangssignal (detailiert)	0-10 VDC, min. 10 kΩ, Messbereich 2,2 to 8,58 VDC, log. (Default) ausgenommen EtherCAT, Profinet
Serielle Schnittstelle	RS485: 9,6 kBd bis 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity, EtherCAT, Profinet
Schaltausgänge	2x Relais, potentialfrei, 49 VAC / 2 A bzw. 30 VDC / 2 A, max. 60 VA ausgenommen EtherCAT, Profinet
Elektrischer Anschluss	RS485/0-10V: SubD, 15-polig, männlich, RS485/EtherCAT/Profinet: 1x M12 A / 2x M12 D, weiblich
Vakuumanschluss	DN 16 ISO-KF (VCL53), DN 16 CF-F (VCL54)
Schutzart	Bis IP54 (SubD mit Gegenstecker XB15SL05)
Gewicht	195 g (VCL53D)

Beschreibung	Datenblatt RS485 Schnittstelle mit 0-10 V, EtherCAT oder Profinet	Manual D/DL RS485, 0-10 V	Manual E RS485, EtherCAT	Manual PN RS485, Profinet, bis SNo 22xxxxxx	Manual PN RS485, Profinet, ab 23xxxxxx
VCL5X Vakuumtransmitter Loadlock Piezo/Pirani (PtRh)	Alle Varianten	VCL53D/VCL53DL/VCL54D/VCL54DL	VCL53E/VCL54E	VCL53PN/VCL54PN	VCL53PN/VCL54PN
EtherCAT Communication Manual			VCL53E/VCL54E

Wie können Parameter, wie z. B. Schaltpunkte oder Gasartkorrekturfaktoren, eingegeben werden? Die Smartline-Vakuumtransmitter werden mit Hilfe ihrer RS485-Schnittstelle programmiert. Sie reagieren z. B. auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle und Befehle zum Setzen von Gasart-Korrekturfaktoren. Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des Transmitters ist ebenfalls via RS485 möglich.
Ist das Messsignal im Grobvakuum gasartunabhängig? Ja, im Druckbereich oberhalb 15 mbar.
Wie kann der Sensor vor Verschmutzung geschützt werden? Eine Blende schützt die Thyracont-Sensoren weitgehend vor Kondensat und Verschmutzung. Ist mit größeren Verschmutzungen zur rechnen, empfiehlt sich zusätzlich der Einsatz eines Verlängerungsrohres oder Kniestücks, einer Kühlfalle oder eines Dichtrings mit Sinterfilter. Wir empfehlen den Transmitter dauerhaft eingeschaltet zu lassen, da eine heißes Pirani-Filament weniger verschmutzungsanfällig ist.
Kann man den Pirani-Sensor reinigen? Je nach Art und Grad der Verschmutzung kann ein Reinigen des Sensors mit Isopropanol sinnvoll sein. Dazu füllen Sie die Messzelle vollständig mit dem Alkohol und lassen diesen einige Minuten einwirken. Nach dem Entfernen der Flüssigkeit muss die Messzelle vollständig austrocknen. Bitte beachten Sie aber, dass zum Beispiel Ölablagerungen meist auf dem Filament festbacken und durch Lösemittel nur schwer oder gar nicht zu beseitigen sind.
Muss man die Geräte in einer bestimmten Einbaulage montieren? Grundsätzlich können die Geräte in jeder Lage montiert werden. Die genausten Messergebnisse erzielen Sie, wenn der Flansch des Gerätes senkrecht ist, da die Geräte in dieser Lage kalibriert wurden. Ein Montieren des Sensors von unten ist nicht empfehlenswert, da sich in der Messzelle Kondensat und Schmutz ansammeln kann.
Wie oft sollte der Vakuumtransmitter nachjustiert werden? Dies hängt von der jeweiligen Anwendung ab. Insbesondere Ablagerungen und Verschmutzung im Sensor, aber auch der Einsatz unter extremen Temperaturbedingungen, können ein Nachjustieren notwendig machen. Zur Qualitätssicherung empfehlen wir die Geräte alle ein bis zwei Jahre zur Kalibrierung einzuschicken. Wir bieten hier wahlweise ein Testzertifikat oder eine Werkskalibrierung an.
Wie wechselt man die Sensorköpfe der Transmitter aus? Die austauschbaren, vorjustierten Sensorköpfe der Smartline-Transmitter können einfach und schnell durch den Anwender selbst getauscht werden, um eine durchweg hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten. Dazu werden die Befestigungsschrauben des Sensorkopfes gelöst, die Sensoreinheit ausgetauscht und die Schrauben wieder befestigt. Nach einer Warmlaufzeit von ca. 15 Minuten drücken Sie den Adjust-Knopf. Die Sensorik und die Elektronik werden nun automatisch aufeinander abgeglichen und der Transmitter ist betriebsbereit.
Wann setzt man eine Heiß-, wann eine Kaltkathode ein? Heißkathoden werden hauptsächlich für präzise Messungen eingesetzt, bei denen eine hohe Genauigkeit (<15%) erforderlich ist. Für den Einsatz im UHV-Bereich bis 5e-10 mbar empfehlen wir ebenfalls unsere Heißkathode. Kaltkathoden sind in vielen Anwendungen robuster und deshalb vor allem für Anwendungen interessant, bei denen der Sensor unempfindlicher gegen Staub, Ölnebel oder Verschmutzung sein muss. Die Kaltkathodenmesszelle kann teilweise zerlegt und vorsichtig mit Scotch Brite gereinigt werden. Das VSM hat im Vergleich zum VSH eine niedrigere, jedoch für eine Kaltkathode sehr gute Genauigkeit von <25%. Um eine hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten, kann bei beiden Transmittern der Sensorkopf bei Bedarf einfach ausgetauscht werden.
Kann man den Sensorkopf des VSH reinigen? Heißkathoden sind nicht zur Reinigung geeignet.

Wie können Parameter, wie z. B. Schaltpunkte oder Gasartkorrekturfaktoren, eingegeben werden?

Die Smartline-Vakuumtransmitter werden mit Hilfe ihrer RS485-Schnittstelle programmiert. Sie reagieren z. B. auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle und Befehle zum Setzen von Gasart-Korrekturfaktoren. Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des Transmitters ist ebenfalls via RS485 möglich.

Ist das Messsignal im Grobvakuum gasartunabhängig?

Ja, im Druckbereich oberhalb 15 mbar.

Wie kann der Sensor vor Verschmutzung geschützt werden?

Eine Blende schützt die Thyracont-Sensoren weitgehend vor Kondensat und Verschmutzung. Ist mit größeren Verschmutzungen zur rechnen, empfiehlt sich zusätzlich der Einsatz eines Verlängerungsrohres oder Kniestücks, einer Kühlfalle oder eines Dichtrings mit Sinterfilter. Wir empfehlen den Transmitter dauerhaft eingeschaltet zu lassen, da eine heißes Pirani-Filament weniger verschmutzungsanfällig ist.

Kann man den Pirani-Sensor reinigen?

Je nach Art und Grad der Verschmutzung kann ein Reinigen des Sensors mit Isopropanol sinnvoll sein. Dazu füllen Sie die Messzelle vollständig mit dem Alkohol und lassen diesen einige Minuten einwirken. Nach dem Entfernen der Flüssigkeit muss die Messzelle vollständig austrocknen. Bitte beachten Sie aber, dass zum Beispiel Ölablagerungen meist auf dem Filament festbacken und durch Lösemittel nur schwer oder gar nicht zu beseitigen sind.

Muss man die Geräte in einer bestimmten Einbaulage montieren?

Grundsätzlich können die Geräte in jeder Lage montiert werden. Die genausten Messergebnisse erzielen Sie, wenn der Flansch des Gerätes senkrecht ist, da die Geräte in dieser Lage kalibriert wurden. Ein Montieren des Sensors von unten ist nicht empfehlenswert, da sich in der Messzelle Kondensat und Schmutz ansammeln kann.

Wie oft sollte der Vakuumtransmitter nachjustiert werden?

Dies hängt von der jeweiligen Anwendung ab. Insbesondere Ablagerungen und Verschmutzung im Sensor, aber auch der Einsatz unter extremen Temperaturbedingungen, können ein Nachjustieren notwendig machen. Zur Qualitätssicherung empfehlen wir die Geräte alle ein bis zwei Jahre zur Kalibrierung einzuschicken. Wir bieten hier wahlweise ein Testzertifikat oder eine Werkskalibrierung an.

Wie wechselt man die Sensorköpfe der Transmitter aus?

Die austauschbaren, vorjustierten Sensorköpfe der Smartline-Transmitter können einfach und schnell durch den Anwender selbst getauscht werden, um eine durchweg hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten. Dazu werden die Befestigungsschrauben des Sensorkopfes gelöst, die Sensoreinheit ausgetauscht und die Schrauben wieder befestigt. Nach einer Warmlaufzeit von ca. 15 Minuten drücken Sie den Adjust-Knopf. Die Sensorik und die Elektronik werden nun automatisch aufeinander abgeglichen und der Transmitter ist betriebsbereit.

Wann setzt man eine Heiß-, wann eine Kaltkathode ein?

Heißkathoden werden hauptsächlich für präzise Messungen eingesetzt, bei denen eine hohe Genauigkeit (<15%) erforderlich ist. Für den Einsatz im UHV-Bereich bis 5e-10 mbar empfehlen wir ebenfalls unsere Heißkathode. Kaltkathoden sind in vielen Anwendungen robuster und deshalb vor allem für Anwendungen interessant, bei denen der Sensor unempfindlicher gegen Staub, Ölnebel oder Verschmutzung sein muss. Die Kaltkathodenmesszelle kann teilweise zerlegt und vorsichtig mit Scotch Brite gereinigt werden. Das VSM hat im Vergleich zum VSH eine niedrigere, jedoch für eine Kaltkathode sehr gute Genauigkeit von <25%. Um eine hohe Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten, kann bei beiden Transmittern der Sensorkopf bei Bedarf einfach ausgetauscht werden.

Kann man den Sensorkopf des VSH reinigen?

Heißkathoden sind nicht zur Reinigung geeignet.

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