PVC Ion Gauge / Vacuum System Controller ● für passive UHV Heißkathoden

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Die Produktpalette umfasst Controller für einen oder zwei passive Heißkathoden-Sensoren und eine Reihe von Plug-In-Modulen zur Steuerung von zusätzlichen, passiven Pirani-Sensoren VSP52x/VSP84x oder aktiven 0-10V Vakuumtransmittern.

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PVC Process Vacuum Controller  für einen oder zwei passive Heißkathoden-Sensoren und eine Reihe von Plug-In-Modulen zur Steuerung von zusätzlichen, passiven Pirani-Sensoren VSP521/VSP841 oder aktiven 0-10V Vakuumtransmittern der Analog- oder Smartline. Passende Heißkathoden-Sensoren, Zubehör, wie Thermocouple-Temperatursensoren zur Ausheizkontrolle, sowie Sensorkabel sind ebenso erhältlich.

Überblick PVC Ion Gauge / Vacuum System Controller

  • 1 x UHV Ionen Messröhre (PVCuni) oder 2 x UHV Ionen Messröhren (PVCduo)
  • 2 Modulsteckplätze für zusätzliche Pirani Messröhren (VSP52x, VSP84x) oder aktive 0-10 V Transmitter 
  • Intuitive, menügesteuerte Bedienung
  • Automatische Emissionssteuerung oder 11 manuelle Emissionseinstellungen 
  • Rampenförmige Power-Degas-Funktion, Druckmessung während Degas 
  • Integrierterabgesicherter Multistep Bake-Out Controller 
  • 2 benutzerdefinierbare on/off Timer 
  • Benutzerdefinierbarer Interlock Hub7 digitale Ausgänge und 4 digitale Eingänge 
  • Messwertanzeige in Druckeinheiten oder alternativ direkt als Ionenstrom (inkl. Emissionskorrektur) für Beam Flux Monitoring (BFM)
  • RS232/RS485 Schnittstelle zur einfachen Vernetzung per Daisy-Chain
  • Volle Computersteuerung via binären MODBUS- und ASCII basierten QueBUS 
  • 2 x 0-10V Analogausgänge

Anwendungsbereiche

  • Prozesssteuerung, Druck und Interlock Überwachung in HV und UHV Systemen   
  • MBE Beam-Flux Monitoring (BFM) 
  • Automatisierte Steuerung von UHV-Systemen 
  • Ausheizkontrolle für UHV-Systeme 

Sie haben Fragen zum PVC Ion Gauge / Vacuum System Controller? Wir beraten Sie gerne.

→ Zur Produktfamilie UHV Ion-Gauge-Controller