Leckratenbestimmung

Stabile Vakuumbedingungen sind die Grundlage für reproduzierbare Prozesse in Industrie und Forschung. Bereits kleinste Leckagen oder materialbedingte Ausgasungen können Prozessinstabilitäten, Qualitätsverluste oder erhöhten Energieverbrauch verursachen.

Eine präzise Leckratenmessung und kontinuierliche Drucküberwachung sind deshalb entscheidend für sichere und wirtschaftliche Vakuumprozesse.

Druckanstiegsmessung zur Dichtigkeitsprüfung von Vakuumsystemen

Leckagen führen zu unkontrollierten Druckveränderungen, die stabile und reproduzierbare Prozessverhältnisse beeinträchtigen können. Speziell im Grob- und Feinvakuumbereich ermöglicht die Druckanstiegsmessung eine einfache und zuverlässige Erfassung kleinster Druckänderungen, um Leckagen sicher zu identifizieren.

Neben der Messgenauigkeit spielen weitere Faktoren eine wichtige Rolle:

Hohe Langzeitstabilität
Einfache Datenauswertung
Flexible Einsatzmöglichkeiten
Zuverlässiger Einsatz in Service, Wartung und Forschung

Kompakte Messtechnik für vielseitige Anwendungen

Mit dem VD850 steht ein kompaktes Vakuummeter zur Verfügung, das Absolut- und Relativdruck über einen weiten Messbereich erfasst. Möglich wird dies durch einen kombinierten Piezo/Pirani-Sensor, der sowohl im Grob- als auch im Feinvakuum präzise Messergebnisse liefert.

Typische Anwendungen:

Initialtestung und regelmäßige Überprüfung von Vakuumkammern, Evakuierungsprozessen und Produktionsanlagen
Langzeitaufzeichnung von Messdaten über integrierten Datenlogger mit Exportfunktion
Leckratenbestimmung per Druckanstiegsmessung

Wie funktioniert die Leckratenbestimmung über Druckanstiegsmessung?

Die Druckanstiegsmessung ist ein etabliertes Verfahren zur Bestimmung der integralen Leckrate:

Evakuierung der Vakuumkammer auf den Ziel-Enddruck
Trennung vom Pumpensystem
Messung des Druckanstiegs im abgeschlossenen Volumen

Die Steigung der Druckkurve dient als Maß für die integrale Leckrate. Für genaue Ergebnisse muss das Kammer- oder Anlagenvolumen möglichst exakt bekannt sein.

Wo wird Leckratenmessung in der Praxis eingesetzt?

Typische Einsatzbereiche sind Vakuumbehälter und -anlagen im Bereich:

Dünnschichttechnik
Chemische Verfahrenstechnik
Forschung und Entwicklung
Produktion und Qualitätssicherung
Service und Wartung

Praxisbeispiel:

Ein Anwender aus der Fertigung von Dünnschicht- und Destillationsanlagen führt mit dem VD850 bei Labor- und Pilotanlagen mit Volumina von 50 Litern bis zu 50 m³ Druckanstiegsmessungen durch, um definierte Leckraten- und Enddruckanforderungen zuverlässig zu verifizieren.

Fazit: Mehr Prozesssicherheit durch präzise Vakuummesstechnik

Eine zuverlässige Leckratenbestimmung sorgt für stabile Prozesse, reduziert Energieverbrauch und erhöht die Anlagenverfügbarkeit. Kompakte Messsysteme mit integrierter Datenauswertung ermöglichen eine wirtschaftliche und praxisnahe Überwachung moderner Vakuumanlagen.