Vakuum-Glossar

  • Bayard Alpert [Messprinzipien ]

    Der Sensor ionisiert Gasmoleküle durch Elektronenbeschuss. Der gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle und somit für den Absolutdruck.
  • Impuls-Pirani [Messprinzipien ]

    Pirani-Sensor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Eine Wendel wird dabei im Pulsbetrieb bis zu einem bestimmten Temperatur-Schwellwert aufgeheizt. Die notwendige Aufheizzeit ist ein Maß für den Absolutdruck.
  • Kapazitiv [Messprinzipien ]

    Unter Druckeinwirkung verformt sich eine dünne Membran, auf deren Rückseite eine Elektrode als Bestandteil eines Kondensators aufgebracht ist. Die bei Verformung der Membran auftretende Kapazitätsänderung ist ein Maß für den auf die Membran wirkenden Absolutdruck.
  • Magnetron [Messprinzipien ]

    Der Sensor vom Typ invertiertes Magnetron erzeugt in einer Gasentladung ionisiert Gasmoleküle. Der gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle und somit für den Absolutdruck.
  • Piezo [Messprinzipien ]

    Unter Einwirkung des Druckes verformt sich eine  dünne Membran, auf deren Rückseite eine piezoresistive Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die dabei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß für den auf die  Membran wirkenden Absolutdruck.
  • Pirani [Messprinzipien ]

    Ein Pirani-Sensor nutzt die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung. Dabei wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone-Brückenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brückenspannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
  • Vakuumtransmitter

    Ein Vakuumtransmitter, auch Vakuummessumformer oder Vakuum-Messröhre, wandelt einen von einem Sensorelement erfassten Absolutdruck in ein analoges (4-20 mA, 0-10 V) oder digitales Ausgangssignal um.