Beschichtung-Bedampfung

Kurz zusammengefasst:

  • Thyracont-Pirani mit erweitertem Messbereich
  • kombinierte Messmethode
  • Kaltkathode wird geschont

Beschichtung und Bedampfung

Bei der optischen Beschichtung von Spiegeln für Laser-Resonatoren liegt der Prozessdruck typischerweise oberhalb von 2 x 10-3 mbar.

Aufgabenstellung

Ein Messumformer soll sowohl den Prozessdruck als auch den Enddruck von 10-6 mbar in der Vakuumkammer kontinuierlich überwachen. Unser Kunde verwendete bisher eine Kombination aus Pirani und Kaltkathode, wobei letztere auch den Prozess überwachte. Der ständige Betrieb oberhalb 10-3 mbar führte rasch zu vorzeitigem Verschleiß.

Lösung

Im Messumformer VSM schaltet das Thyracont-Pirani mit erweitertem Messbereich den Kaltkathodensensor erst bei sehr niedrigem Druck ein. Zudem lässt sich der Übergang zwischen Pirani und Kaltkathode eigenständig konfigurieren. Dadurch konnte erreicht werden, dass das Pirani nun den gesamten Beschichtungsprozess überwacht und sich die Kaltkathode erst bei Anfahren des Enddrucks aktiviert. Dadurch wird die Kaltkathode geschont und die Prozessverfügbarkeit wesentlich verbessert.